旋片真空泵的真空度不达标，可由外漏，内漏，油孔梗塞，泵油质量不良或净化蜕变，有水汽等可凝性物质，仪器仪表失真，泵运转不正常等引起。
外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽，我们常称为冒烟。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力，低级排气阀处油面有较多气泡，功率会有所添加，这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏景象，应对泵口及管道，阀门，容器逐一检查。外轴封无效，双级旋片真空泵，油标无油，油孔闷头漏气也可形成外漏。
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，XD旋片真空泵，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，无油旋片真空泵，体积小巧的一种仪器。
旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，河源旋片真空泵，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
水环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
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